微小漏电流难以捕捉？宽温域半导体绝缘测试设备技术解析

在功率半导体器件及封装绝缘材料研发、可靠性检测环节，高低温交变环境下绝缘电阻准确表征存在诸多技术难点：低漏电流信号易受工业电网谐波、电磁噪声干扰，宽温域温度均匀性难以保障，瞬时扰动易产生无效异常数据，传统设备量程、灵敏度无法满足绝缘材料测试标准。

华测仪器 SIR-450 半导体高低温绝缘电阻测试系统，是面向功率半导体、封装树脂、无机绝缘基材、复合绝缘膜等材料开发的变温绝缘性能综合检测设备。系统采用集成架构，集成宽范围准确温控腔体与高阻微弱电流测量主机单元；硬件配置多级电磁抗干扰组件，可减少现场电磁干扰噪声，设备电流测量分辨率可达 1fA，绝缘电阻测量上限 10¹⁶Ω，可稳定采集材料在高低温工况下的微量漏电流信号。

温控系统采用全域均热风道结构，工作温度区间覆盖 - 185℃～350℃，控温精度≤±0.5℃；升温速率支持 0～10℃/min 连续自定义设置，可复现多种标准及自定义温度老化、温变循环测试曲线。软件内嵌自动平均值校正算法，能够实时连续采样，自动甄别并减少环境扰动引发的异常跳变数据，保障全温度区间绝缘电阻测试数据的重复性、稳定性与真实性，为绝缘材料配方开发、器件长期绝缘可靠性评估提供可靠、完整的测试数据支撑。